設(shè)備：表面平整度檢測(cè)儀Flat Master 200 SAW

廠商：美國Corporation Corning Tropel

用途：能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量適用于，檢測(cè)SiC、GaN、藍(lán)寶石和玻璃等透明材料。

技術(shù)指標(biāo)：

l  無接觸和無損傷測(cè)試

l  度：50nm （2.0μ″）

l  重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

l  分辨率：5nm （0.2μ″）

l  適用2英寸,4英寸,6英寸,8英寸

l  適應(yīng)于多種類型表面：研磨面、拋光面、超光滑面

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